ExLASER® 是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
長處
- 可以超快速的溫度上升和下降。
- 一次均勻加熱 2 英寸基板
- 直接加熱只能用于被加熱的物體。
- 可根據(jù)工藝進行溫度控制
- 節(jié)能而不加熱大氣
- MBE 設備的基板加熱
- 晶圓退火（SiC、GaAS 等）
- 可對多層器件進行表面退火（與小型化器件兼容）
成就示例
激光加熱實驗
使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量溫度分布。
1. 藍寶石襯底（φ2英寸） --- 應用于透明襯底
2. 溫度傾斜---組合光學的使用
標準規(guī)格
| 型號 EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方法 | 直接型 | 體型 | 高 625 毫米 × 寬 700 毫米 × 深 320 毫米 |
| 激光功率 | 高達 1kW | 附屬品 | 專用冷水機組 |
| 激光波長 | 808 納米 | 額定 |
機身：1P200V20A 冷水機：1P200V15A |
| 激光幾何形狀 | 廣場 | ||
| 光學元件（均勻性） | 均質器 （±5%） | 言論 |
JST Originality 建模 和開發(fā)產(chǎn)品 （FY17） |
| 加熱區(qū) | □ 55 毫米 | ||
| 工作距離 | 400 毫米~ | ||
* 以上為標準規(guī)格。 可以根據(jù)客戶的要求進行更改。
選項 * 我們將根據(jù)您的要求制造
- 真空室
-
溫度控制單元?輻射溫度計?數(shù)字指示器控制器?紅外線透射窗
- PCB 支架（用于 2 英寸板）
- 用于組合專用基板支架的光學系統(tǒng)（兼容 □10mm 板）
- 各種襯底（藍寶石、硅、GaAs 等）
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2024/09/26